氧化铝陶瓷手臂机械手晶圆搬运

优秀的耐热性

氧化铝陶瓷可以在高达1650℃的温度下稳定工作，这对于半导体制造中常见的高温环境至关重要。

高度耐磨损性和化学稳定性

这种材料对机械磨损和化学腐蚀具有极高的抵抗力，保证了长时间的使用寿命和稳定性。

非导电性

氧化铝的非导电性质确保在处理敏感电子组件时，不会产生静电干扰，这对于避免微小电路损坏至关重要。

几何设计的优化

具有多个安装孔和两个长条形手柄，使其能够轻松固定或与其他机械设备连接，同时保持高精度的操作能力。

表面处理

平滑的表面处理减少了摩擦，提高了处理过程中的精度和可靠性。

氧化铝陶瓷手臂在半导体制造中的应用广泛，主要应用领域包括：

硅晶圆搬运

在极端条件下准确地搬运和定位硅晶圆，确保制造过程的高效与准确。

敏感电子元件的处理

在不产生静电的条件下操作，保护电子元件的完整性和功能性。

高温和腐蚀性环境下的操作

在化学气体和高温环境下的稳定性使其在特殊工艺中非常有用，如在蚀刻和清洗过程中。